1.三角测量半导体激光发射的激光束照射到目标上。接收器镜头聚集目标反射的光，并聚集在感光元件上。当与目标的距离发生变化时，接收器镜头反射光的角度会发生变化，光聚焦在感光元件上的位置也会发生变化。

2.时间测量在激光照射到物体并返回的时间内测量距离。不会影响工件的表面状态，可以稳定检测。检测右图中接收激光反射光的时间T，计算距离Y。计算公式:2Y(往返距离)=C(光速)×T(接收反射光的时间)。

3.共焦测量部有镜头。镜头有固定的焦点距离，镜头的焦点距离设定为F。使用该镜头聚光时，高度为F时，焦点重叠，光聚为1点。当高度偏离F时，光线逐渐模糊。聚焦位置通过针孔反射光量最强的位置，确定了聚焦光量最强时的聚焦(镜头)高度，目标物是否与该位置相距离F一目了然。通过内部传感器高精度读取此时的聚焦(镜头)位置，可以测量与目标物体的距离。因为是测量聚焦高度，所以不受目标物体材料、颜色、倾斜等的影响，可以实现精确测量。